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    • 专利摘要:

    公开号:WO1986006167A1
    申请号:PCT/DE1986/000163
    申请日:1986-04-14
    公开日:1986-10-23
    发明作者:Shixuan; Pang
    申请人:Fraunhofer-Gesellschaft Zur Förderung Der Angewand；
    IPC主号:G01N27-00
    专利说明:
    [0001] Einrichtung zur Messung der relativen Feuchte der Luft
    [0002] Technisches Gebiet
    [0003] Die Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung zur Mes¬ sung der relativen Feuchte der Luft gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
    [0004] Derartige Einrichtungen werden beispielsweise in der Me¬ teorologie, der Klimatologie oder der Agrarmeteorologie benötigt. Darüberhinaus gibt es aber auch eine Vielzahl technischer Anwendungen für Einrichtungen zur Messung der relativen Feuchte der Luft, beispielsweise zur Steuerung von Klimaanlagen.
    [0005] Stand der Technik
    [0006] Es sind bereits eine Vielzahl von Einrichtungen zur Mes¬ sung der relativen Feuchte der Luft bekanntgeworden:
    [0007] Eine dieser Einrichtungen ist das sogenannte Haarhygrome¬ ter, bei dem zur Messung der Feuchte die hierdurch hervor¬ gerufene Längenänderung menschlicher oder tierischer Haa¬ re ausgenutzt wird.
    [0008] Ferner wird zur Messung der Feuchte der Luft das sogenann¬ te Assmann'sehe Aspirations-Psychrometer verwendet. Es be¬ steht aus zwei gleichen Thermometern, die von einem beweg¬ ten Luftstrom mit einer Geschwindigkeit von mehr als 2,5 m/sec umspült werden. Das eine Thermometer wird trocken und das andere feucht gehalten. Aus der Differenz der von den beiden Thermometern angezeigten Temperaturen kann die Feuchtigkeit der Luft bestimmt werden. Diese beiden bekannten Einrichtungen haben eine Reihe von Nachteilen:
    [0009] Beide Einrichtungen sind unter dem Gefrierpunkt des Was¬ sers nur bedingt oder überhaupt nicht verwendbar. Insbe¬ sondere ist das Assmann-Psychrometer praktisch unbrauch¬ bar, solange der feucht zu haltende Temperaturfühler "ein¬ gefroren" ist.
    [0010] Darüberhinaus zeigen beide Einrichtungen eine große Hyste¬ rese, die sich unter dem Gefrierpunkt des Wassers noch vergrößert.
    [0011] Ferner ist das sogenannte Taupunktverfahren bekannt, bei dem die Taubildung auf einem kleinen Spiegel oder einem anderen geeigneten Sensor festgestellt und gleichzeitig die zu diesem Zeitpunkt gemessene Temperatur des Fühlers zur Bestimmung der relativen Feuchte herangezogen wird. Dieses Verfahren erlaubt nur Messungen in Intervallen, wo¬ bei zwischendurch der Fühler immer wieder aufgeheizt wer¬ den muß. Damit sind keine kontinuierlichen Messungen der Feuchte der Luft möglich.
    [0012] Sämtliche vorstehend genannten Einrichtungen bzw. Verfah¬ ren sind vergleichsweise aufwendig und eignen sich nur sehr beschränkt zur kontinuierlichen Luftfeuchtigkeit≤mes- sungen bei begrenzter Einstellgeschwindigkeit. Eine Minia¬ turisierung ist nur bei dem Psychrometer nach Assmann mög¬ lich. Jedoch setzt auch hier die Vorrichtung r die zur Erzeugung der Mindestventilation der Fühler erforderlich ist, der Miniaturisierung Grenzen.
    [0013] Ferner gibt es noch Feuchtigkeitssensoren, die eine poröse Oberfläche aufweisen, an bzw. in der sich Wasserdampfmole- küle anlagern und somit physikalische Eigenschaften der Sensoren verändern.
    [0014] Ein Beispiel hierfür sind feuchteempfindliche Kohle-Ele¬ mente; derartige Kohle-Elemente haben jedoch eine außer¬ ordentlich große Hysterese. Darüberhinaus sind sie nur ei¬ ne verhältnismäßig kurze Zeitspanne arbeitsbereit und müs¬ sen dann durch neue Elemente ersetzt werden.
    [0015] Ferner sind Feuchtigkeitssensoren bekannt, bei denen als poröses Material ein Polymer verwendet wird, das das Die¬ lektrikum eines Kondensators bildet. Diese Sensoren werden häufig auch als Feuchte-Sensor-Chips bezeichnet.
    [0016] Auch diese Sensoren zeigen eine starke Hysterese: Unter verschiecenen Temperaturbedingungen unterscheiden sich bei gleicher relativer Feuchte die Meßwerte ganz erheblich. Insbesondere bilden sich bei diesen bekannten Feuchte-Sen¬ sor-Chips je nach Luftfeuchte und Temperatur auf der Ober¬ fläche kleine Wassertröpfchen, die die Messung verfäl¬ schen. Darüberhinaus zeigen diese Sensoren bei gleichblei¬ benden Bedingungen eine starke Drift des Meßgignals .
    [0017] Deshalb weisen verschiedene im Handel erhältliche Sensor- Chips einen Miniatur-Heizkörper auf, der den gesamten Sen¬ sor-Chip erwärmt. Hierdurch läßt sich jedoch die Hysterese sowie der störende Einfluß der Umgebungstemperatur nur un¬ befriedigend beseitigen. Auch können durch den Miniatur- Heizkörper Meßfehler erzeugt werden.
    [0018] Darstellung der Erfindung
    [0019] Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung zur Messung der relativen Feuchte der Luft anzugeben, die die Messung der relativen Feuchte der Luft über den in der Atmosphäre vorkommenden Temperaturbereich, also auch un- terhalb des Gefrierpunkts von Wasser, bei praktisch unbe¬ deutender Hysterese gestattet.
    [0020] Überraschenderweise gelingt eine Lösung dieser Aufgabe dadurch, daß von einer Einrichtung zur Messung der rela¬ tiven Feuchte der Luft gemäß dem Oberbegriff des Patentan¬ spruchs 1 , also von einer Einrichtung mit einem Sensor aus porösem Material ausgegangen und diese Einrichtung durch die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 angege¬ benen Merkmale weitergebildet wird. Erfindungsgemäß ist nämlich erkannt worden, daß die Ursache für die bei den bekannten Einrichtungen gemäß dem Oberbegriff des- Pa¬ tentanspruchs 1 auftretende Hysterese die in den Poren des porösen Materials befindlichen kleinen assertröpfchen bzw. der an der Oberfläche der Poren anhaftende Wasserfilm ist. Diese Wassertröp chen verhindern, daß sich ein Gleichgewicht entsprechend der momentanen Luftfeuchte ein¬ stellt, und sind darüberhinaus auch die Ursache für das Driften des Meßsignals bei gleichbleibenden Bedingungen.
    [0021] Deshalb ist eine schmalbandige Infrarot-Strahlungsquelle vorgesehen, die gemäß Anspruch 2 vorzugsweise Strahlung mit einer Wellenlänge emittiert, bei der eine ausgeprägte Absorptionsbande von Wasserdampf liegt. Durch diese Infra¬ rot-Strahlung wird die Bindung des Wasserfilms * an den inneren Oberflächen des porösen Materials so "gelockert", daß sich schnell ein Gleichgewicht zwischen den Wasser¬ dampfmolekülen im Feuchtigkeitssensor einerseits und dem luftf uchtigkeitsbedingten Angebot an Wassermolekülen in der Atmosphäre andererseits einstellt.
    [0022] Der Abstand, in dem die Infrarot-Strahlungsquelle vom Sen¬ sor angeordnet ist, ist dabei so zu wählen, daß die gesam¬ te nutzbare Fläche des Feuchtigkeitssensor≤ bestrahlt wird, so daß sich im gesamten Sensor schnell ein Gleichge- - 3 -
    [0023] wicht einstellt. Insbesondere ist die Ausführung nach Anspruch 15 bevorzugt.
    [0024] Damit hat die erfindungsgemäße Einrichtung zur Messung der relativen Feuchte der Luft praktisch keine Hysterese und ist darüberhinaus im gesamten in der Atmosphäre vorkommen¬ den Temperaturbereich einsetzbar. Der unkomplizierte und einfache Aufbau der Einrichtung erlaubt darüberhinaus, sie mit den in der Halbleiter-Technologie üblichen Verfahren zu miniaturisieren. Ferner ist die erfindungsgemäße Ein¬ richtung storunanfällig , so daß sie auch unter rauhen Um¬ gebungsbedingungen, beispielsweise in Wetterball ns, Radiosonden etc. eingesetzt werden kann.
    [0025] Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
    [0026] Die Verwendung einer schmalbandigen Infrarot-Strahlungs¬ quelle hat nicht nur den Vorteil, daß - wie bereits er¬ wähnt - die Emissionswellenlänge der Strahlungsquelle so gewählt werden kann, daß bei ihr eine ausgeprägte Absorp¬ tionsbande des Wasserdampfs liegt. Darüberhinaus kann die Emissionswellenlänge auch so gewählt werden, daß das porö¬ se Material des Feuchtigkeitssensors (Anspruch 3)' sowie der gegebenenfalls vorhandenen Elektroden (Anspruch 13), die Infrarot-Strahlung praktisch nicht absorbieren. Damit wird die schon sehr geringe Temperaturerhöhung, die die erfindungsgemäße Einrichtung aufgrund der Infrarot-Strah¬ lung erfährt, noch weiter herabgesetzt, so daß sie in der Regel vollständig zu vernachlässigen ist.
    [0027] Geeignete poröse Materialien, die für Infrarotstrahlung bestimmter Wellenlängenbereiche praktisch durchlässig sind, sind beispielsweise Polymere (Anspruch 4). Als Elektrodenmaterial sind insbesondere Materialien geeignet, die für Wasserdampf durchlässig sind, Infrarot- Strahlung aber reflektieren (Anspruch 14).
    [0028] Im Prinzip können die verschiedensten Eigenscha ten des porösen Materials, die sich aufgrund der relativen Feuchte der'Luft ändern, als "Meßeffekt" herangezogen werden.
    [0029] Besonders vorteilhaft ist es jedoch, den Sensor als kapa¬ zitiven Sensor (Anspruch 5) oder als resistiven Sensor (Anspruch 8) auszubilden, d.h. die Kapazität eines Konden¬ sators, der das poröse Material als Dielektrikum enthält, oder den Widerstandswert eines von dem porösen Materials gebi'deten Widerstand zu bestimmen, und diese Werte als Maß für die relative Feuchte der Luft heranzuziehen.
    [0030] Im Anspruch 6 ist eine vorteilhafte Ausführungsform des kapazitiven Sensors angegeben.
    [0031] Das Spannungssignal, in das gemäß Anspruch 7 der Kapazi¬ tätswert des Sensors umgesetzt wird, eignet sich im beson¬ deren Maße zur elektronischen Weiterverarbeitung.
    [0032] Viele Feuchteabhängige. Effekte im porösen Material sind zusätzlich temperaturabhängig; beispielsweise zeigt das Spannungs-Ausgangssignal eines kapazitiven Sensors eine 1 /T-Abhängigkeit (T: absolute Umgebungstemperatur). Diese Abhängigkeit kann selbstverständlich rechnerisch bei¬ spielsweise in einer nachgeschalteten Mikrocomputerschal¬ tung berücksichtigt werden.
    [0033] Eine besonders einfache Berücksichtigung dieser Tempera¬ turabhängigkeit erlaubt jedoch die in Anspruch 9 gekenn¬ zeichnete bevorzugte Weiterbildung: Gemäß dieser Ausge¬ staltung der Erfindung wird die Strahlungsintensität der Strahlungsquelle in Abhängigkeit von der Umgebungstempera¬ tur verändert. Bei entsprechender Auslegung erhält man ein temperaturunabhängiges Ausgangssignal des Feuchtigkeits¬ sensors, das nur noch von der relativen Feuchte der Luft abhängt.
    [0034] Gemäß Anspruch 10 weist die erfindungsgemäße Einrichtung hierzu einen Temperaturfühler auf, der bevorzugt ein Miniaturfühler ist, und in unmittelbarer Nähe des Feuch¬ tigkeitssensors angeordnet ist. Der Temperaturfühler erfaßt die Umgebungstemperatur, so daß eine gemäß Anspruch 11 vorgesehene elektronische Steuereinheit die Intensität der Infrarot-Str*. -ilungsquelle in Abhängigkeit von der Umgebungstemperatur steuern kann. Diese Steuerung der Intensität kann beispielsweise durch Steuern des Speise¬ stroms der Infrarot-Strahlungsquelle erfolgen.
    [0035] Die elektronische Steuereinheit kann gemäß Anspruch 12 ferner die Intensität der Infrarot-Strahlungsquelle zu¬ sätzlich in Abhängigkeit vom Ausgangssignal des Sensors steuern, so daß sich eine geschlossene Regelschleife ergibt. Diese geschlossene Regelschleife hat gegenüber einer Einrichtung, bei der das Ausgangssignal des Sensors nicht für die Intensitätseinstellung der Strahlungsquelle berücksichtigt wird, den Vorteil einer besseren Stabilität bei schwankenden Arbeitsbedingungen, andererseits ist jedoch das Ausgangssignal nicht linear.
    [0036] In den Ansprüchen 16 bis 18 sind ohne Beschränkung der Allgemeinheit verschiedene bevorzugte Möglichkeiten für schmalbandige bzw. monochromatische In-frarot-Strahlungs- quellen angegeben. Die im Anspruch 19 gekennzeichnete Wellenlänge von 0,93μm ist besonders bevorzugt, da sie einerseits von Wasserdampf stark absorpiert wird, und andererseits beispielsweise die meisten Poivmere für diese Wellenlänge durchlässig sind.
    [0037] Der erfindungsgemäße Grundgedanke - zur Beseitigung der Hysterese eine Infrarot-Strahlungsquelle mit einem Feuch¬ tigkeitssensor aus einem porösen Material zu kombinieren - ist auch zur Nachrüstung handelsüblicher kapazitiver Feuchtigkeitssensoren geeignet, wie sie beispielsweise von der Fa. Vaisala, Finnland oder der Fa. Endress+Hauser GmbH&Co, BR Deutschland angeboten werden.
    [0038] Kurze Beschreibung der Zeichnung
    [0039] Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbei¬ spielen in Verbindung mit der Zeichnung näher beschrieben, auf die im übrigen bezüglich aller nicht im Text erläuter¬ ten Einzelheiten ausdrücklich Bezug genommen wird. Es zeigen:
    [0040] Fig. 1a eine schematische Darstellung einer erfin¬ dungsgemäßen Einrichtung,
    [0041] Fig. 1b einen erfindungsgemäß verwendeten kapazitiven Feuchtigkeitssensor, und
    [0042] Fig. 2 einen Vergleich der mit einem bekannten Feuch¬ tigkeitssensor und mit der erfindungsgeraäßen Einrichtung erhaltenen Meßergebnisse.
    [0043] Weg zur Ausführung der Erfindung
    [0044] Fig. 1a zeigt eine erfindungsgemäße Einrichtung, die aus einer Infrarot-Strahlungsquelle 1 mit einem Strahlungsfeld 2, einem kapazitiven Feuchtigkeit≤sensor 3, einem Tempera¬ turfühler 4 und einer elektronischen Steuereinheit 5 besteht. Die Strahlungsquelle 1 und der Sensor 3 haben den Abstand S, der so bemessen ist, daß das Strahlungsfeld 2 den gesamten Sensor abdeckt. Bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel ist die Infrarot- Strahlungsquelle 1 eine Leuchtdiode, die schmalbandiges bzw. nahezu monochromatisches Licht mit einer zentralen Wellenlänge von 0,93um abgibt. Im Bereich dieser Wellenlängen hat Wasserdampf eine starke Absorptionsbande.
    [0045] Der Aufbau des kapazitiven Feuchtigkeitssensors 3 ist in Fig. 1b näher dargestellt. Der Sensor 3 besteht aus einem porösen Polymermaterial 7, auf bzw. in dem zwei kammartig ineinander geschobene Elektroden 6 vorgesehen sind, die einen Kondensator bilden, dessen "Dielektrikum" * das Polymermaterial 7 ist.
    [0046] Das Material 7 ist so gewählt, daß es für Licht mit der Wellenlänge 0,93μm nahezu durchlässig ist, so daß das Licht in das Material 7 eindringen kann und von dem auf den Wänden der Poren befindlichen Wasserfilm absorbiert werden kann.
    [0047] Ferner ist auch das Material der Elektroden 6 so gewählt, daß die Elektroden durch die IR-Strahlung nicht aufgeheizt werden: Insbesondere können die Elektroden 6 für die IR- Strahlung reflektierend ausgelegt sein.
    [0048] Der Temperaturfühler 4 ist in der unmittelbaren Nachbar¬ schaft des Sensors 3 angeordnet und bestimmt die Tempera¬ tur der Umgebung des Sensors 3 und damit des Sensors 3 selbst. Bei einer integrierten Ausführung der Strahlungs¬ quelle 1 und des Sensors 3 kann der Temperaturfühler 4 beispielsweise auf dem gleichen Substrat angeordnet sein. Das Ausgangssignal des Temperaturfühler 4, das bevorzugt proportional zur Temperatur ist, wird zur Korrektur even¬ tueller Temperaturabhängigkeiten des Sensors 3 verwendet. Die Steuereinheit 5 berechnet nicht nur aus dem Ausgangs¬ signal des Sensors 3 die relative Feuchte der Luft, son¬ dern bestimmt auch aus dem Ausgangssignal des Temperatur¬ fühlers 4 die Umgebungstemperatur T und beaufschlagt die Strahlungsquelle 1 mit Strom, um diese zu einer bestimmten Strahlungsintensität anzuregen. Die Steuereinheit 5 kann dabei in an sich bekannter Weise einen Mikrocomputer oder eine Analogschaltung aufweisen, so daß auf ihren Aufbau nicht näher eingegangen werden muß.
    [0049] Für die Spannungsabnähme
    des in Fig. 1b dargestell¬ ten kapazitiven Feuchtigkeitssensors 3 als Funktion - der relativen Feuchte RH in % gilt ohne Rückkoppelung:
    [0050] ,ΔUout = - K1 * (RH«6)/T
    [0051] Dabei ist T die absolute Umgebungstemperatur und K1 1 eine Konstante für eine gegebene IR-Strahlung.
    [0052] Dieser Gleichung ist zu entnehmen, daß es möglich ist, das Spannungssignal des erfindungsgemäßen Sensors unabhängig von der Temperatur zu 1inearisieren, wenn die Steuerein¬ heit 5 die Strahlungsintensität proportional zur Tempera¬ tur T variiert.
    [0053] Bei stark schwankenden Umgebungsbedingungen kann es jedoch vorteilhaft sein, auf die Linearität des Ausgangssignai zu verzichten, und die Strahlungsintensität der Leuchtdiode 1 auch in Abhängigkeit vom Ausgangssignal des Sensors 3 zu regeln. Dann erhält man für die Spannungsabnähme Δ ü des Ausgangssignals des Sensors 3 als Funktion der Feuchte
    [0054] Aüout = - K2 * (RH5έ)2/T.
    [0055] Hierbei ist K~ eine andere Konstante. Die zeitliche Stabi- lität einer derart rückgekoppelten Einrichtung ist besser als die einer nicht rückgekoppelten Einrichtung.
    [0056] Fig. 2 zeigt einen Vergleich der Meßergebnisse einer erfindungsgemäßen Einrichtung mit einem handelüblichen Feuchtigkeitssensor ohne "monochromatische" IR-Diode. Wie man sieht, hat die erfindungsgemäße Einrichtung eine hervorragende Linearität ohne Hysterese. Ferner zeigt die erfindungsgemäße Einrichtung keine Drifterscheinungen bei konstanten Bedingungen. Die Daten sind im einzelnen in Fig. 2 angegeben, auf die ausdrücklich Bezug genommen wird.
    [0057] *
    [0058] Vorstehend ist die Erfindung anhand von Ausführungsbei¬ spielen ohne Beschränkung der Allgemeinheit beschrieben worden, innerhalb des allgemeinen Erfindungsgedankens - zur Beseitigung der Hysterese eine Infrarot-Strahlungs¬ quelle mit einem Feuchtigkeitssensor aus einem porösen Material zu kombinieren -sind natürlich die verschieden¬ sten Abwandlungen möglich:
    [0059] Beispielsweise ist es möglich die verschiedensten porösen Materialien zu verwenden: Brauchbare Materialien werden beispielsweise von der Phys.-Chemical Research Corp., New York, der Rotronic Comp. , Zürich, E.T.I. (Worthing, Sus¬ sex), Corel (Lyon) hergestellt. Bei verschiedenen Materia¬ lien ist es möglich, daß die Wellenlänge der verwendeten Strahlung stark von den vorstehend angegebenen Werten in Richtung auf den Mikro ellenbereich oder sogar auf den Ultravioletten Bereich abweicht.
    权利要求:
    Claims Patentansprüche
    1. Einrichtung zur Messung der relativen Feuchte der Luft, mit einem Feuchtigkeitssensor, der aus einem porösen Material besteht, bei dem sich mindestens eine meßbare Eigenschaft als Funktion der Feuchte ändert, dadurch gekennzeichnet, daß eine schmalbandige Infrarot- Strahlungsquelle (1) vorg -sehen ist, die den Feuchtig¬ keitssensor (3) aus einem bestimmten Abstand (S) be¬ strahlt.
    2. Einrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die Infrarot-Strahlungsquelle Strahlung mit einer Wellenlänge emittiert, bei der Wasser- αampf eine ausgeprägte Absorptionsbande hat.
    3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Emissionswellenlängen der Strahlungsquelle so gewählt sind, daß das poröse Material des Feuchtigkeitsaufnehmers (3) die Strahlung nicht absor¬ biert.
    4. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das poröse Material ein Poly¬ mer ist.
    5. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Feuchtigkeitssensor ein kapazitiver Sensor ist, dessen Dielektrikum aus dem porö¬ sen Material besteht.
    6. Einrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß ein Umsetzer vorgesehen ist, der den Kapazitätswert des Feuchtigkeitssensors in ein Spannungssignal umsetzt.
    7. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Feuchtigkeitssensor ein resistiver Sensor ist.
    8. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlungsintensität der Infrarot-Strahlungsquelle in Abhängigkeit von der Umge¬ bungstemperatur (T) steuerbar ist.
    9. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, * dadurch gekennzeichnet, daß in der Nähe des Feuchtigkeits¬ sensors (3) ein Temperaturfühler (4) angeordnet ist.
    10. Einrichtunc nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß eine elektronische Steuerein¬ heit (5) die Intensität in Abhängigkeit von der Umgebungs¬ temperatur steuert.
    11. Einrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die elektronische Steuerein¬ heit (5) die Intensität zusätzlich in Abhängigkeit vom Aus-gangssignal des Sensors steuert.
    12. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß Meßelektroden (6) auf bzw. in dem porösen Material des Feuchtigkeitsaufnehmers (3) vorgesehen sind, die so ausgebildet sind, daß sie die Infrarot-Strahlung (2) nicht absorbieren.
    13. Einrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßelektroden die einfal¬ lende Strahlung (2) reflektieren.
    14. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand (S) zwischen Feuchtigkeitsaufnehmer (3) und Strahlungsquelle (1) im Be¬ reich der kritischen Länge liegt.
    15. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Infrarot-Strahlungsquelle ein Halbleiterlaser ist.
    16. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Infrarot-Strahlungsquelle eine Leuchtdiode ist.
    17. Einrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß ein Filter zur Begrenzung der emittierten Wellenlänge vorgesehen ist.
    18. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlung im Bereich der Wellenlänge 0,93um emittiert wird.
    19. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß der Feuchtigkeitssensor ein handelsüblicher kapazitiver Feuchtigkeits'sensor ist.
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    引用文献:
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    1986-10-23| AL| Designated countries for regional patents|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): AT BE CH DE FR GB IT LU NL SE |
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    1987-04-15| WWP| Wipo information: published in national office|Ref document number: 1986902331 Country of ref document: EP |
    1991-03-06| WWG| Wipo information: grant in national office|Ref document number: 1986902331 Country of ref document: EP |
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
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